一、機器用途
YCJ-6 R型TFT-LCD液晶検出DIC顕微鏡は遠仞検出最新型FPD検査顕微鏡であり、LCD業界/TFTガラス/COG導電粒子の打痕、粒子爆破検査に特化している。
微分干渉対物レンズは、低倍から高倍まで、明瞭で平坦な微分干渉顕微鏡画像を得ることができる。使用者は直交偏光に基づいてDICプリズムを挿入するだけで、明視野DIC微分干渉観察を行うことができる。DIC技術を用いて、物体表面の微小な高低差に明らかなレリーフ効果を発生させ、画像のコントラストを大幅に高めることができる。同時に暗場対物レンズを交換することなく暗場観察を実現することもでき、操作が便利であると同時に、暗場対物レンズを別途購入するコストも節約できる。
二、計器の特徴
1)YCJ-6 R型TFT-LCD液晶検出DIC顕微鏡、その微分干渉効果は輸入ブランドに匹敵する
2)YCJ-6 R型TFT-LCD液晶検出DIC顕微鏡モデルは新設計の長距離対物レンズ、半復消色差技術、多層広帯域めっき技術を採用し、長寿命LED光源を採用する
3)多種の高度に機能化された付属品は、各種検査ニーズを満たすことができ、明場、簡易偏光、微分干渉観察に用いることができる
4)新たに設計された長作業距離専門の金相対物レンズ、高倍対物レンズは半復消技術を採用している。
5)様々な観察方法で鮮明で高コントラストの顕微鏡画像を得ることができる。
6)X、Y方向105 mmx 105 mmの移動範囲を実現できる。
6)YCJ-6 R型TFT-LCD液晶検出DIC顕微鏡は4寸、6寸のプラットフォーム設計を採用し、対応する寸法のウエハ又は小寸法サンプルの金相検査に適用できる
三、技術パラメータ
はいち |
パラメータ |
光学系 |
無限遠色差補正光学系 |
観察方法 |
明視野/斜照明/偏光/DIC |
かんそくとう |
30°ヒンジ式三眼、分光比、両目:三目=100:0または50:50 |
めがね |
PL 10 X/22平場高眼点接眼レンズ |
コンバータ |
DICスロット付きインナ傾斜コンバータ5アナ |
ぶつレンズ |
無限遠長作動距離平場消色差金相対物レンズ5 X DIC LMPL 5 X/0.15 WD 10.8 mm |
無限遠長作動距離平場消色差金相対物レンズ10 X DIC LMPL 10 X/0.30 WD 10 mm | |
無限遠長作動距離平場消色差金相対物レンズ20 X DIC LMPL 20 X/0.45 WD 4 mm | |
無限遠長作業距離平場半複消金相対物レンズ50 X LMPLFL 50 X/0.55 WD 7.9 mm | |
無限遠長作業距離平場半複消金相対物レンズ100 X LMPLFL 100 X/0.80 WD 2.1 mm(オプション) | |
フォーカシング機構 |
粗微調整同軸、粗調整ストローク33 mm、微調整精度0.001、粗調整機構上限位及び緩調整装置付き。90-240 V幅電圧トランスを内蔵し、単回路電源出力 |
ステージ |
4寸二層機械移動プラットフォーム、ストローク105 X 105 mm、金属平板プラットフォーム付き、右手位X、Y移動ハンドル6寸三層機械移動プラットフォーム、ストローク158 X 158 mm、ガラステーブル、右手位X、Y移動ハンドル、クラッチハンドル付き、高速移動(オプション)他にオプション:8寸移動プラットフォーム |
照明システム |
反射:可変視野絞りと開口絞りを持ち、いずれも調整可能な中心、カラーフィルタ付きスロットと偏光装置スロット、斜照明切換レバー付き、単一の大出力5 W LED、白色、光強度連続調整可能、 透過:単一の大出力5 W LED、白色、光強度の連続調整可能、可変開口絞り付き |
偏光アタッチメント |
偏光検出ミラーは360度回転でき、偏光検出ミラーと偏光検出ミラーはいずれも光路を取り出すことができる |
CTVインタフェース |
1X、1/2X |